應(yīng)用領(lǐng)域：

Table PVD-15 一款小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作， 適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、 半導(dǎo)體膜、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、鋰電池、有機(jī)膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等。 

 可鍍制低熔點(diǎn)金屬及合金材料薄膜，單層 / 多層 / 復(fù)合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；鍍制非金屬 / 化合物 等材料薄膜（ Mo03, LiF） 等；有機(jī)材料等蒸發(fā)；太陽(yáng)能電池、LED 的研究和實(shí)驗(yàn)；描電鏡制樣等。

基本配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 + 分子泵兩級(jí)真空系統(tǒng) 前級(jí)泵：VRD-16 機(jī)械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動(dòng)插板閥， 

◆極限真空：<5×10-5Pa 

◆恢復(fù)真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空測(cè)量：“兩低一高” 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) 

◆蒸 發(fā) 源：2 組金屬蒸發(fā)源；（標(biāo)配） 最多 2 個(gè)有機(jī)束源爐源；（選配） 

◆蒸發(fā)電源：采用恒壓、恒流真空鍍膜電源， 最大功率 2.4KW，電流調(diào)節(jié)精度：0.01A 

◆樣品臺(tái)：可容納樣品最大尺寸：3 英寸樣品托一個(gè) , 配擋板，轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫， 溫度范圍：室溫 -300℃，控溫精度 ±0.5℃； 

◆系統(tǒng)控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動(dòng)按鈕控制）

◆工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮?dú)?/span> 

◆電 源 : 單相 220V , 50Hz, 16A 

◆冷 凍 水 :18-25℃ , 1L/min，壓力 < 0.4MPa

選擇配置： 

◆樣品臺(tái)可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控溫 

◆全量程真空計(jì)（ Inficon） 

◆速率 / 膜厚監(jiān)控測(cè)儀（SQM-160） 

◆可選進(jìn)口蒸發(fā)電源 

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 + 分子泵兩級(jí)真空系統(tǒng) 前級(jí)泵：VRD-16 機(jī)械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽氣速率：300L/S 主抽閥：CCQ-100 超高真空氣動(dòng)插板閥， ◆極限真空：<5×10-5Pa 

◆恢復(fù)真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空測(cè)量：“兩低一高” 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) 

◆蒸 發(fā) 源：2 組金屬蒸發(fā)源；（標(biāo)配） 最多 2 個(gè)有機(jī)束源爐源；（選配） 

◆蒸發(fā)電源：采用恒壓、恒流真空鍍膜電源， 最大功率 2.4KW，電流調(diào)節(jié)精度：0.01A 

◆樣品臺(tái)：可容納樣品最大尺寸：3 英寸樣品托一個(gè) , 配擋板，轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫， 溫度范圍：室溫 -300℃，控溫精度 ±0.5℃； 

◆系統(tǒng)控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控制（可選手動(dòng)按鈕控制）