DH2010 多功能真空實驗儀
真空實驗儀是一個真空實驗平臺。由真空獲得部分、真空鍍膜機構(gòu)和電控及儀表等部分組成,能夠很直觀反映真空獲得的全過程。
國家實用新型專利:ZL 2007 2 0107661.X
主要實驗內(nèi)容
1、真空的獲得與測量;
2、蒸發(fā)法薄膜制備。
主要技術(shù)參數(shù)
1、設(shè)備的真空室、油擴散泵、真空管路部件全透明;
2、電氣控制有安全防護,防止誤操作對人員和設(shè)備造成損傷;
3、采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合管路,閥門為電控雙向截止閥;
4、真空室:304 不銹鋼底盤和玻璃鐘罩組成,尺寸:Φ230×260mm;
5、真空測量:數(shù)顯復(fù)合真空計;
6、襯底溫度:室溫~ 200℃(PID 控溫);
7、抽氣系統(tǒng):2XZ-4B 機械泵 + 四級玻璃擴散泵,需水冷;
8、極限真空:9.6×10 -4 Pa;恢復(fù)真空:5×10 -3 Pa < 40 分鐘;
9、1 組無氧銅電極,蒸發(fā)功率:AC10V/150A;襯底加熱、烘烤除氣;
10、可鍍膜尺寸:Φ70mm;
11、整機功率:3kW;16A 插座;
12、工作電源:AC220V±5,50Hz;
13、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。
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