DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置
裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點 , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。
實驗內(nèi)容
1、等離子體消毒滅菌實驗 , 如大腸桿菌 (8099)、金黃色葡萄球菌 (ATCC6538);
2、等離子體材料表面改性實驗 , 如紙張親水性、紙張接觸角;
3、等離子體材料表面清洗實驗;
4、等離子體聚合實驗。
主要技術(shù)參數(shù)
1、等離子體腔體體積:φ140mm×(H)155mm;
2、射頻功率: 0 ~ 500W;頻率:13.560MH Z ;
3、工作氣壓: 20 ~ 200Pa(建議工作在 100 Pa 以下);
4、反應(yīng)腔本底真空: ≤ 5Pa;
5、反應(yīng)腔極限真空: 1×10 -1 Pa;
6、等離子體電子溫度: 1 ~ 8Ev;
7、流量控制器: 0 ~ 1000sccm;
8、工作電壓: AC220V±5% 50Hz;
9、整機(jī)功率: ≤ 1.5KW;
10、整機(jī)重量: 約 100Kg;
11、外形尺寸: 長 650× 寬 610× 高 1000mm。
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