本系統(tǒng)是公司聯(lián)合復旦大學引進美國 Instrue 四極質(zhì)譜分析技術，基于四極質(zhì)譜原理的 RGA 可以快速測量并分析真空室內(nèi)各種氣體的組份與分壓強，采用先進的四極桿質(zhì)譜技術為您的應用提供了無以比擬的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒級時間內(nèi)全動態(tài)范圍對氣體進行采樣。由真空機組、氣體樣品取樣閥、殘余氣體分析儀、應用控制軟件等組成。

適用于真空排氣檢測、真空鍍膜氣氛與殘余氣體監(jiān)控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空內(nèi)表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生，以及去氣劑狀態(tài)測量等。

產(chǎn)品已獲得發(fā)明專利 1 項、實用新型專利 2 項，申請發(fā)明專利 1 項、 實用新型專利 1 項；

主要技術創(chuàng)新特點

1、采用微型腔體四極質(zhì)譜氣體采樣探頭，整機插拔式安裝。探頭的組裝采用自對準結(jié)構(gòu)，在最大限度內(nèi)減少真空系統(tǒng)引入塵埃，且便于清洗維護后的再次組裝；

2、自適應高頻諧振 RF 電源，全固態(tài)電路設計數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，軟件自動掃描調(diào)節(jié)頻率，實現(xiàn) RF 驅(qū)動電路 Q 值最大，實現(xiàn)系統(tǒng)電控部件小型集成化，提高整機可靠性；

3、將物理思路與嵌入式軟件相結(jié)合，采用了氣體分子質(zhì)譜自動校準軟件，使得在開機測量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識別的絕對準確性。

主要科研實驗內(nèi)容

1、能夠詳細地分析真空系統(tǒng)內(nèi)部的微量氣體成份種類，各組份分壓強及系統(tǒng)總壓強，同時記錄各組氣體分壓強隨時間的變化；

2、可以任意設定包括氦在內(nèi)的樣品氣體用作真空系統(tǒng)檢漏；

3、在使用時對四極質(zhì)譜分析過程的多種參數(shù)進行自由設定，可以根據(jù)各種電參數(shù)的改變，看對氣氛質(zhì)譜分析的影響，從而易于在基本原理的層次上對四極桿質(zhì)譜教學分析過程有深入的理解。

主要技術參數(shù)

1、極限真空：6.7×10 -5 Pa；

2、抽氣系統(tǒng)：2XZ-4 機械泵 +FF100/110 分子泵；風冷或水冷；

3、測量范圍：1 ～ 100AMU（質(zhì)量與電荷的比例）；

4、探測器種類：法拉第杯；

5、工作壓強：UHV（極限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；

6、分辨率：峰高 10% 處小于 1.0 AMU ( 依據(jù) 1993 AVS 推薦方法 )

7、測量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （軟件設定）；

8、最大工作溫度（探頭）：200℃；

9、應用軟件：AccuRay 2.0 for Windows；

10、通訊接口：USB 2.0 ( 非隔離，115200 波特率 )；

11、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。